中国科学院微电子研究所的前身原中国科学院109厂成立于1958年，1986年中国科学院半导体研究所微电子学部加入，合并为中国科学院微电子中心，2003年9月正式更名为中国科学院微电子研究所。微电子研究所是一所专门从事微电子领域研究与开发的国立研究机构，是中国科学院微电子技术总体和中国科学院EDA中心的依托单位。